ข้อมูลจำเพาะของ MKS 626A01TDE
| ผู้ผลิต | เอ็มเคเอส |
| พิมพ์ | ทรานสดิวเซอร์วัดความดัน |
| ประเภทเซ็นเซอร์ | มาโนมิเตอร์แบบคาปาซิแตนซ์ |
| ช่วงอุณหภูมิการทำงาน | 0-50 ℃ |
| เอาต์พุตแบบอนาล็อก | 0-10 โวลต์กระแสตรง |
| ความแม่นยำ | 0.25% ของการอ่าน |
| ขั้วต่อไฟฟ้า | ขั้วต่อ D-sub 15 พิน |
MKS 626A01TDE มุมมอง
หากคุณต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับ MKS 626A01TDE โปรดติดต่อผมได้โดยไม่ต้องลังเล
อีเมล:sales@sparecenter.com
MKS 626A01TDEคุณสมบัติ
1. การวัดที่ไม่ขึ้นอยู่กับชนิดของก๊าซ: ต่างจากเกจวัดความดันแบบใช้ความร้อนหรือแบบใช้ไอออนไนเซชัน เกจวัดความดัน MKS 626A01TDE วัดการเคลื่อนที่ทางกายภาพของไดอะแฟรม ทรานสดิวเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ของ MKS ช่วยให้สามารถอ่านค่าความดันรวมได้อย่างแม่นยำ โดยไม่คำนึงถึงองค์ประกอบของก๊าซในระบบสุญญากาศของคุณ
2. โครงสร้างทนทานต่อการกัดกร่อน: เซ็นเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ MKS 626A01TDE มีโครงสร้างแบบเชื่อมทั้งหมด โดยพื้นผิวที่สัมผัสกับของเหลวทำจากอินโคเนล การเลือกใช้วัสดุของเซ็นเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ MKS ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเซ็นเซอร์สามารถทนต่อการสัมผัสกับก๊าซในกระบวนการผลิตที่มีฤทธิ์กัดกร่อนหรือรุนแรงได้โดยไม่เสื่อมสภาพ
3. ความแม่นยำสูง: เซ็นเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ MKS 626A01TDE มีความแม่นยำสูงถึง 0.25% ของค่าที่อ่านได้ เซ็นเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ของ TMKS เมื่อรวมกับช่วงการวัดเต็มสเกล 1 Torr ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการสุญญากาศที่สำคัญซึ่งต้องการการควบคุมความดันอย่างแม่นยำ
4. ระบบป้องกันแรงดันเกินที่ดีเยี่ยม: ออกแบบมาเพื่อความทนทานในระดับอุตสาหกรรม MKS 626A01TDE สามารถทนต่อแรงดันได้ซ้ำๆ สูงถึง 45 psia โดยไม่ต้องทำการปรับเทียบใหม่หรือเกิดความเสียหายถาวร
5. การตอบสนองแบบเรียลไทม์ที่รวดเร็ว: MKS 626A01TDE ให้เอาต์พุตอะนาล็อกเชิงเส้น 0-10 VDC พร้อมเวลาตอบสนองน้อยกว่า 20 มิลลิวินาที ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับวงจรควบคุมอัตโนมัติความเร็วสูงและการเก็บรวบรวมข้อมูล
MKS 626A01TDEคำถามที่พบบ่อย
Q1: เครื่อง MKS 626A01TDE รักษาความแม่นยำในการวัดได้อย่างไร ไม่ว่าจะเป็นก๊าซประเภทใดก็ตาม?
เครื่องวัดความดันแบบคาปาซิแทนซ์ MKS 626A01TDE วัดความดันโดยการตรวจจับการเปลี่ยนแปลงของค่าคาปาซิแทนซ์ทางกายภาพที่เกิดจากการโก่งตัวของไดอะแฟรมภายใน เนื่องจากทรานสดิวเซอร์วัดความดันแบบสัมบูรณ์ของ MKS อาศัยแรงทางกลมากกว่าการนำความร้อนหรือคุณสมบัติการแตกตัวเป็นไอออน ดังนั้น MKS 626A01TDE จึงให้การวัดความดันรวมที่แท้จริงซึ่งเป็นอิสระอย่างสมบูรณ์จากชนิดหรือส่วนผสมของก๊าซQ2: ควรติดตั้ง MKS 626A01TDE ในทิศทางใดเพื่อให้ได้ประสิทธิภาพสูงสุด?
แม้ว่าเซ็นเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ MKS 626A01TDE สามารถติดตั้งได้ในทุกตำแหน่ง แต่ทาง MKS Absolute Pressure Transducers ขอแนะนำอย่างยิ่งให้ติดตั้งโดยให้หน้าแปลนสุญญากาศหันลงด้านล่าง การจัดวางในลักษณะนี้จะช่วยป้องกันอนุภาคหรือสารปนเปื้อนที่ควบแน่นได้ไม่ให้เกาะติดบนไดอะแฟรม Inconel ที่ไวต่อการเปลี่ยนแปลง ซึ่งจะช่วยรักษาเสถียรภาพการสอบเทียบในระยะยาวและความเร็วในการตอบสนองของ MKS 626A01TDE
แม้ว่าเซ็นเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ MKS 626A01TDE สามารถติดตั้งได้ในทุกตำแหน่ง แต่ทาง MKS Absolute Pressure Transducers ขอแนะนำอย่างยิ่งให้ติดตั้งโดยให้หน้าแปลนสุญญากาศหันลงด้านล่าง การจัดวางในลักษณะนี้จะช่วยป้องกันอนุภาคหรือสารปนเปื้อนที่ควบแน่นได้ไม่ให้เกาะติดบนไดอะแฟรม Inconel ที่ไวต่อการเปลี่ยนแปลง ซึ่งจะช่วยรักษาเสถียรภาพการสอบเทียบในระยะยาวและความเร็วในการตอบสนองของ MKS 626A01TDE
Q3: ควรปรับตั้งค่าศูนย์อย่างไรในเครื่อง MKS 626A01TDE?
ในการปรับเทียบจุดศูนย์ ทรานสดิวเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ MKS ต้องถูกทำให้เป็นสุญญากาศจนมีความดันต่ำกว่าความละเอียดของเกจอย่างน้อยหนึ่งลำดับความ magnitud เมื่อระบบเสถียรแล้ว ควรปรับโพเทนชิออมิเตอร์ศูนย์บน MKS 626A01TDE จนกระทั่งเอาต์พุตอ่านค่าได้ 0.000 VDC อย่างแม่นยำ เพื่อชดเชยความเครียดจากการติดตั้งหรือการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแวดล้อมที่อาจส่งผลต่อ MKS 626A01TDE
ในการปรับเทียบจุดศูนย์ ทรานสดิวเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์ MKS ต้องถูกทำให้เป็นสุญญากาศจนมีความดันต่ำกว่าความละเอียดของเกจอย่างน้อยหนึ่งลำดับความ magnitud เมื่อระบบเสถียรแล้ว ควรปรับโพเทนชิออมิเตอร์ศูนย์บน MKS 626A01TDE จนกระทั่งเอาต์พุตอ่านค่าได้ 0.000 VDC อย่างแม่นยำ เพื่อชดเชยความเครียดจากการติดตั้งหรือการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแวดล้อมที่อาจส่งผลต่อ MKS 626A01TDE
Q4: MKS 626A01TDE สามารถทนต่อความดันบรรยากาศหรือสูงกว่าได้หรือไม่?
ใช่แล้ว MKS 626A01TDE ได้รับการออกแบบมาพร้อมระบบป้องกันแรงดันเกินที่แข็งแรงทนทาน สามารถทนต่อแรงดันได้ถึง 45 psia ซ้ำๆ โดยไม่ทำให้ชิ้นส่วนตรวจจับภายในเสียหาย ซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่า MKS 626A01TDE ยังคงทำงานได้และมีความแม่นยำแม้หลังจากระบบระบายอากาศทำงานอย่างกะทันหันหรือเกิดแรงดันเกินโดยไม่ตั้งใจ
ใช่แล้ว MKS 626A01TDE ได้รับการออกแบบมาพร้อมระบบป้องกันแรงดันเกินที่แข็งแรงทนทาน สามารถทนต่อแรงดันได้ถึง 45 psia ซ้ำๆ โดยไม่ทำให้ชิ้นส่วนตรวจจับภายในเสียหาย ซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่า MKS 626A01TDE ยังคงทำงานได้และมีความแม่นยำแม้หลังจากระบบระบายอากาศทำงานอย่างกะทันหันหรือเกิดแรงดันเกินโดยไม่ตั้งใจ
Q5: เหตุใดจึงใช้ Inconel สำหรับชิ้นส่วนที่สัมผัสกับของเหลวใน MKS 626A01TDE?
ทรานสดิวเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์รุ่น 626A01TDE ใช้โลหะผสมอินโคเนล (Inconel) สำหรับทุกพื้นผิวที่สัมผัสกับก๊าซในกระบวนการผลิต เนื่องจากมีความทนทานต่อการกัดกร่อนเป็นพิเศษ ทำให้ MKS 626A01TDE สามารถใช้งานได้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการตกตะกอนไอสารเคมี (CVD) ที่มีความต้องการสูง ซึ่งเกี่ยวข้องกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง ซึ่งอาจทำให้เซ็นเซอร์สแตนเลสมาตรฐานเสื่อมสภาพได้
ทรานสดิวเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์รุ่น 626A01TDE ใช้โลหะผสมอินโคเนล (Inconel) สำหรับทุกพื้นผิวที่สัมผัสกับก๊าซในกระบวนการผลิต เนื่องจากมีความทนทานต่อการกัดกร่อนเป็นพิเศษ ทำให้ MKS 626A01TDE สามารถใช้งานได้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการตกตะกอนไอสารเคมี (CVD) ที่มีความต้องการสูง ซึ่งเกี่ยวข้องกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง ซึ่งอาจทำให้เซ็นเซอร์สแตนเลสมาตรฐานเสื่อมสภาพได้
Q6: MKS 626A01TDE มีข้อกำหนดด้านกำลังไฟและลักษณะการส่งสัญญาณอย่างไรบ้าง?
ทรานสดิวเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์รุ่น 626A01TDE ต้องการแหล่งจ่ายไฟแบบสองขั้ว +/-15 VDC ทรานสดิวเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์รุ่น 626A01TDE ให้สัญญาณเอาต์พุตแบบอนาล็อกที่มีความแม่นยำสูงตั้งแต่ 0 ถึง 10 VDC โดยที่ 10V ตรงกับช่วงเต็มสเกล 1 Torr อย่างแม่นยำ เอาต์พุตมาตรฐานของทรานสดิวเซอร์วัดความดันสัมบูรณ์รุ่น 626A01TDE ช่วยให้สามารถรวมเข้ากับระบบ PLC, ตัวควบคุมสุญญากาศ หรือโมดูลเก็บข้อมูลได้อย่างง่ายดาย
รุ่นอื่นๆ ที่เกี่ยวข้อง
| 1785-L60B | 1756-CNBR |
| 1756-CN2 | 1756-DNB |
| 1746-IB32 | 1756-EN2F |
| 1756-IF16 | 1756-EN2TR |
| 1747-BA | 1756-IT6I2 |
| 1771-โอบีดี | 1756-IV16 |
| 1203-GD1 | 1756-L55M12 |
| 1746-HT | 1756-L55M13 |
| 1746-IB16 | 1756-L61S |
| 1746-IH16 | 1756-L63 |
| 1746-108 | 1756-L63XT |
| 1746-IV16 | 1756-L64 |
| 1746-NI8 | 1756-L65 |
| 1746-NIO4I | 1756-L71S |
| 1746-OB32 | 1756-L72 |
| 1746-OW16 | 1756-LSC8XIB8I |
| 1747-ACN15 | 1756-LSP |
| 1747-L531 | 1756-OB16D |
| 1747-SCNR | 1756-OF6VI |
| 1756-CNB | 1756-PA75R |
มือถือ/แอป WhatsApp: +852 6980 6006
อีเมล: sales@sparecenter.com
