0190-26769 มาตรวัดสามชั้น อามัต ยูนิเวอร์แซล

คำอธิบาย:

อามัต 0190-26769 เป็นเครื่องวัดสุญญากาศความแม่นยำสูง ผลิตขึ้นโดยเฉพาะสำหรับใช้ในอุปกรณ์แปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ของ สมัครแล้ว วัสดุ (อามัต) ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การควบคุมสุญญากาศที่แม่นยำมีความสำคัญอย่างยิ่งยวดสำหรับขั้นตอนการผลิตต่างๆ รวมถึงการตกตะกอน การกัด และการฝังไอออน 

หมายเลขชิ้นส่วนนี้ระบุว่าเป็นส่วนประกอบสำคัญในการบำรุงรักษาและตรวจสอบสภาพแวดล้อมสุญญากาศภายในห้องผลิตอันซับซ้อนของ อามัต แม้ว่าเทคโนโลยีที่แน่นอน (เช่น ไพรานี, แคโทดเย็น, เกจวัดความจุไดอะแฟรม) จะไม่ได้ระบุด้วยหมายเลขชิ้นส่วนเพียงอย่างเดียว แต่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้การวัดความดันที่เชื่อถือได้และแม่นยำในช่วงสุญญากาศเฉพาะที่เกี่ยวข้องกับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

คุณสมบัติ:

มีความสามารถในการรายงานการเปลี่ยนแปลงของแรงดันได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ ช่วยให้สามารถควบคุมสุญญากาศแบบไดนามิกและปรับกระบวนการได้อย่างรวดเร็ว

 เนื่องจากเป็นชิ้นส่วนเฉพาะของ อามัต จึงได้รับการออกแบบให้สามารถทำงานร่วมกันได้โดยตรงและผสานรวมเข้ากับเครื่องมือและระบบควบคุมที่มีอยู่ของ อามัต ได้อย่างง่ายดาย จึงมั่นใจได้ว่าการสื่อสาร การรายงานข้อมูล และการทำงานของระบบโดยรวมจะเป็นไปอย่างราบรื่น ไม่มีปัญหาเรื่องความเข้ากันได้

สร้างขึ้นด้วยวัสดุคุณภาพสูงและกระบวนการผลิตเพื่อทนต่อสภาวะที่รุนแรงภายในห้องกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงการสัมผัสกับก๊าซกระบวนการและพลาสมาที่มีฤทธิ์กัดกร่อน